Die FS4001 Sensoren wurden zur Messung kleiner Gasmassendurchflüsse entwickelt. Sie sind unidirektional (oder auf Anfrage bidirektional) mit folgenden Messbereichen verfügbar:
- 0 ~ 30/100/200/500/1000 sccm/min (Ref. Bed.: Luft, 1013,25 mbar, 20°C)
Die Messkanalgröße ist jeweils auf den Messbereich optimiert. Die Sensoren zeichnen sich durch extrem kurze Reaktionszeiten (4 bis 131 ms) aus. Sie verfügen über eine I2C- oder RS232-Schnittstelle und einem analogen Ausgangssignal (12 bit Auflösung). Die digitalen Schnittstellen gestatten die Kommunikation (Datenabruf) und das Parametrieren von z.B. Gaskorrekturfaktoren, Sensorreaktionszeit usw.
Das aus Polycarbonat gefertigte Gehäuse ist chemisch und thermisch sehr beständig. Die spezielle Schirmung sorgt für eine überdurchschnittliche EMV-Festigkeit. Der Druckverlust bei maximalen Durchflussraten ist sehr klein:
- FS4001 (30/100/200 ml/min): Druckverlust: 20Pa @200 sccm
- FS4001 (500/1000 ml/min): Druckverlust: 30Pa @1000sccm